摘要 硬脆材料超快激光加工可有效抑制加工损伤，是碳化硅陶瓷精密加工的重要手段。采用飞秒激光，在不同能量密度和脉冲数下对碳化硅陶瓷进行加工，探究激光参数对其表面形貌特征、化学组分和微孔加工的影响，分析表面（试读）...
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