中图分类号：TM832 文献标志码：A 文章编号：1671-0797(2026)09-0011-05

DOI: 10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2026.09.003

0 引言

辉光放电现广泛用于霓虹灯、等离子体化学气相沉积、质谱仪等物理电子设备，成为重要（试读）...