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掺硼浓度与沉积气压对 Ti/BDD 微观结构和电化学氧化性能影响规律研究-金刚石与磨料磨具工程2024年02期

掺硼浓度与沉积气压对 Ti/BDD 微观结构和电化学氧化性能影响规律研究

作者:刘典宏 尹钊 陈峰磊 马莉 李静 魏秋平 字体:      

摘要 探究在热丝化学气相沉积生长硼掺杂金刚石的过程中,掺硼浓度与沉积气压对钛基硼掺杂金刚石薄膜的微观结构与电化学氧化性能的影响,并以四环素作为模拟污染物进行电化学氧化降解实验。使用扫描电子显微镜、拉曼光(试读)...

金刚石与磨料磨具工程

2024年第02期