摘要 热丝化学气相沉积法沉积区域可达12英寸（30.48 cm），其具备大批量生产单晶金刚石的潜力。采用尺寸为3 mm×3 mm×1 mm，（100）取向的单晶金刚石为基体，利用热丝化学气相沉积法以甲烷和氢气为前驱体，同（试读）...
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